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電子級氫氟酸檢測機構 氫氟酸雜質檢測分析中心
發布時間：2022-09-15 191
　　你了解電子級氫氟酸嗎？哪個機構可以提供專業的電子級氫氟酸檢測服務？氫氟酸雜質檢測分析中心-中科檢測，具備氫氟酸分析檢測資質能力，下面跟著中科檢測小編來了解。
 

　　電子級氫氟酸介紹

 
　　電子級氫氟酸分子式HF，分子量 20. 01。為無色透明液體，相對密度1. 15～1 . 18，沸點 112 . 2 ℃，在空氣中發煙，有刺激性氣味，劇毒。能與一般金屬、金屬氧化物以及氫氧化物發生反應，生成各種鹽類。
 
　　腐蝕性極強，能侵蝕玻璃和硅酸鹽而生成氣態的四氟化硅。易溶于水、醇，難溶于其他有機溶劑。高純氫氟酸為強酸性清洗、腐蝕劑，可與硝酸、冰醋酸、雙氧水及氫氧化銨等配置使用。
 
氫氟酸檢測
 

　　電子級氫氟酸檢測項目

 
　　沸氫氟酸（HF）含量、灼燒殘渣、氯化物、硫酸鹽和亞硫酸鹽、磷酸鹽、氟硅酸鹽、鐵、重金屬、含量等。
 

　　電子級氫氟酸用途

 
　　應用于集成電路 ( I C)和超大規模集成電路 (VLSI)芯片的清洗和腐蝕，是微電子行業制作過程中的關鍵性基礎化工材料之一，還可用作分析試劑和制備高純度的含氟化學品。目前，在國內基本上是作為蝕刻劑和清洗劑用于微電子行業 ,其他方面用量較少。
 

　　電子級氫氟酸質量標準

 
　　目前，因各微電子生產企業對電子級氫氟酸要求的標準不同，可將其劃分為四個檔次：
 
　　1 低檔產品，用于>1.2μmIC工藝技術的制作；
 
　　2 中低檔產品，適用于0.8～1.2μmIC工藝技術的制作；
 
　　3 中高檔產品，適用于0.2～0.6μmIC工藝技術的制作；
 
　　4 高檔產品（UPss），適用于0.09～0.2μm和<0.09μmIC工藝技術的制作。
 

　　氫氟酸雜質檢測分析中心

 
　　中科檢測是中國科學院控股有限公司(國科控股)旗下第三方檢驗檢測認證機構，通過了檢驗檢測機構資質認定(CMA)、中國合格評定國家認可委員實驗室認可(CNAS)，是專業的氫氟酸檢測機構。
 
　　中科檢測具備氫氟酸檢測資質能力，提供CMA/CNAS資質檢測報告，致力于產品研發、成分檢測、成分分析、配方還原、未知物分析等檢測技術服務。有檢測需求可以咨詢中科檢測工程師了解。
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